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J-GLOBAL ID：201503029559841847

透明導電性酸化亜鉛薄膜

Inventor： 山本 哲也 ,  宋 華平 ,  牧野 久雄 ,  野本 淳一
Applicant, Patent owner： 公立大学法人高知工科大学
Agent (1)： 清原 義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013169983
Publication number (International publication number)：2015038847
Application date： Aug. 19, 2013
Publication date： Feb. 26, 2015
Summary：

【課題】耐湿熱性及び表面特性に優れるとともに、光吸収率が低く光透過率の波長依存性が低減された膜厚50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜を提供する。【解決手段】酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Sn、Si、Bi、Se、Ce、Cu、Mn、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された、以下の(1)〜(3)の特性を持つ膜厚が50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜とする。(1)60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下(2)結晶子サイズLとa軸格子定数Laとの関係がL≧100×La(3)表面の算術平均粗さRaが0.2nm Claim (excerpt)：

酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Sn、Si、Bi、Se、Ce、Cu、Mn、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された、以下の(1)〜(3)の特性を持つ膜厚が50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜。 (1)60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下 (2)結晶子サイズLとa軸格子定数Laとの関係がL≧100×La (3)表面の算術平均粗さRaが0.2nm IPC (3)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C04B 35/453

FI (3)：

H01B5/14 A ,  C23C14/08 C ,  C04B35/00 P

F-Term (24)：

4G030AA11 ,  4G030AA14 ,  4G030AA25 ,  4G030AA31 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA39 ,  4G030AA43 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030CA08 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029DD05 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC04 ,  5G307FC09