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J-GLOBAL ID：201503037919378232

酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ

Inventor： 山本 哲也 ,  宋 華平 ,  牧野 久雄 ,  野本 淳一
Applicant, Patent owner： 公立大学法人高知工科大学
Agent (1)： 清原 義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014145377
Publication number (International publication number)：2015062007
Application date： Jul. 15, 2014
Publication date： Apr. 02, 2015
Summary：

【課題】増幅回路を使用しなくても高いセンサ感度を有する酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサを提供する。【解決手段】基板と、該基板上に形成された透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜からなるガス検知層と、前記ガス検知層に接触して設けられた電極と、を備えるガスセンサであって、前記透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜は、酸化亜鉛にGa及び/又はAlからなる元素が添加されてなるとともに、キャリア密度3.0×1020/cm3以下、膜厚50nm以下の多結晶薄膜であることを特徴とするガスセンサとする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、 該基板上に形成された透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜からなるガス検知層と、 前記ガス検知層に接触して設けられた電極と、を備えるガスセンサであって、 前記透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜は、酸化亜鉛にGa及び/又はAlからなる元素が添加されてなるとともに、キャリア密度3.0×1020/cm3以下、膜厚50nm以下の多結晶薄膜であることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (1)：

G01N27/12 C

F-Term (5)：

2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE48