水晶振動子を用いた荷重センサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：池田治幸 , 池田光治郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013241319
Publication number (International publication number)：2015025796
Application date： Nov. 21, 2013
Publication date： Feb. 05, 2015
Summary：

【課題】比較的小型であって、高い感度と広い計測範囲が得られるだけでなく、高い応答性および測定精度が得られる、水晶振動子を用いた荷重センサを提供する。【解決手段】荷重Fを受けて水晶振動子14の一端部に伝達する荷重受部材12f、54fは、一対の側柱部12d、12e、54d、54eの先端部とその荷重受部材12f、54fとの間を連結する板ばね状の弾性ヒンジ部材12c、54cの弾性変形により、荷重受部材12f、54cの基底部12b、54bへ向かう方向の微小変位が許容されるので、荷重Fの変化に応答して微小変位するときに摺動摩擦が発生しない。このため、測定の応答性が十分に得られて、測定された生体情報などの波形がなまることがなく、しかも、摺動摩擦に起因するヒステリシスがなく、測定荷重にヒステリシスが含まれることがないので、荷重波形や荷重の絶対値について、十分な精度が得られる。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

薄板形状の水晶振動子の一端部および他端部を保持する保持器を備え、該水晶振動子の一端部に他端部に向かう方向の外部荷重を受けることで該外部荷重を検出する、水晶振動子を用いた荷重センサであって、前記保持器は、所定寸法を隔てた一対の側柱部および該一対の側柱部の基端を連結する基底部を有し、該一対の側柱部の間に位置する前記水晶振動子の他端部が該基底部に固定された保持部材と、前記一対の側柱部の一端部よりも前記基底部とは反対側へ突設され、前記外部荷重を受けて前記水晶振動子の一端部に伝達する荷重受部材と、該荷重受部の前記基底部へ向かう方向の変位を許容しつつ前記一対の側柱部の先端部と該荷重受部との間を連結する板ばね状の一対の弾性ヒンジ部材とを、含むことを特徴とする水晶振動子用いた荷重センサ。

IPC (1)：

G01L 1/10

FI (1)：

G01L1/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-265132
荷重測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-199320 Applicant：三菱マテリアル株式会社
特開昭56-119519

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Miniaturization and Resolution Improvement of Load Sensor Using AT-Cut Quartz Crystal Resonator

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