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J-GLOBAL ID：201503061801727583

キャリブレーション方法、及び形状測定装置

Inventor：
長橋 敏則

About 長橋 敏則


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013238114
Publication number (International publication number)：2015099050
Application date： Nov. 18, 2013
Publication date： May. 28, 2015
Summary：
【課題】簡素な構成で、短時間でキャリブレーションを実施可能なキャリブレーション方法、及び形状測定装置を提供する。【解決手段】キャリブレーション方法において、底面201からの高さが第一方向に沿って変化する参照面203を有し、その高さが既知である基準ゲージ200を用い、参照面203に対して第一方向に沿って同位相で、第一方向と交差する第二方向に対して位相が変化するフリンジパターンを、周期を複数回変化させ、かつ各周期に対して位相を複数回ずらして投射し、各フリンジパターンの撮像画像を取得する撮像ステップと、各周期のフリンジパターンに対する撮像画像において、第一方向に沿った各画素の位相を算出する位相取得ステップと、各画素に対応した参照面203の高さと、当該画素に対して算出された位相と、当該位相を算出した際のフリンジパターンの周期とを関連付けた関係データを生成するデータ生成ステップとを含む。【選択図】図8
Claim (excerpt)：
基準平面からの高さが既知で第一方向に沿って当該高さが変化する参照面を有する基準ゲージを用い、前記参照面に対して前記第一方向に沿って同位相で、前記第一方向と交差する第二方向に対して正弦波状に位相が変化する格子縞を、前記正弦波の周期を複数回変化させ、かつ各周期に対して前記格子縞の位相を複数回ずらして投射し、それぞれの前記格子縞を撮像した撮像画像を取得する撮像ステップと、 前記各周期の前記格子縞に対してそれぞれ取得され、位相がそれぞれ異なる複数の格子縞の前記撮像画像において、前記第一方向に沿った各画素の位相を算出する位相取得ステップと、 前記各画素に対応した前記参照面の高さと、当該画素に対して算出された位相と、当該位相を算出した際の前記格子縞の周期とを関連付けた関係データを生成するデータ生成ステップとを含む ことを特徴とするキャリブレーション方法。
IPC (2)：
G01B 11/25 ,  G06T 1/00
FI (2)：
G01B11/25 H ,  G06T1/00 315
F-Term (33)：
2F065AA24 ,  2F065BB05 ,  2F065DD06 ,  2F065EE07 ,  2F065FF01 ,  2F065FF07 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM16 ,  2F065NN05 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR07 ,  2F065RR09 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CD14 ,  5B057CH20 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC36
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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