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J-GLOBAL ID：201602201327083816   Reference number：16A0026184

Hyperthermal Atomic Oxygen Beam Irradiation Effect on the Hydrogenated Si-doped DLC Film

水素化されたSi添加DLC膜に及ぼす超熱原子状酸素ビーム照射の影響

Author (11)： KIDENA Kengo (Univ. Hyogo) ,  ENDO Minami (Univ. Hyogo) ,  TAKAMATSU Hiroki (Univ. Hyogo) ,  IMAI Ryo (Univ. Hyogo) ,  NIIBE Masahito (Univ. Hyogo) ,  YOKOTA Kumiko (Kobe Univ.) ,  TAGAWA Masahito (Kobe Univ.) ,  FURUYAMA Yuichi (Kobe Univ.) ,  KOMATSU Keiji (Nagaoka Univ. Technol.) ,  SAITOH Hidetoshi (Nagaoka Univ. Technol.) ,  KANDA Kazuhiro (Univ. Hyogo)
Material： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Trans Mater Res Soc Jpn)
Volume： 40  Issue： 4  Page： 363-368  Publication year： Dec. 2015 
JST Material Number： L4468A  ISSN： 1382-3469  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,  *silicon ,  doping ,  *hydrogenation ,  oxygen ,  atom ,  *oxygen beam ,  irradiation ,  *friction ,  *silicon oxide ,  *elemental analysis ,  *depth distribution ,  *surface modification ,  diamond-like carbon
Semi thesaurus term： diamond-like carbon ,  atomic oxygen ,  low friction

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Irradiational changes of other materials  (BK16124V)

Reference (34)：

• [1] B. A. Banks, K. K. de Groh, S. K. Miller, NASA/TM-2004-213400 (2004) E-14905.
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• [3] E. R. Crutcher, L. S. Nishimura, K. J. Warner, and W. W. Wascher, LDEF-69 Months in Space: First Post-Retrieval Symposium, June 2-8, NASA CP 3134, (1991) 861-74.
• [4] S. W. Samwel, Space Res. J., 7(1) (2014) 1-13.
• [5] J. Robertson, Surf. Coat. Technol., 50 (1992) 185-203.

Terms in the title (5)： 水素化 ,  Si ,  DLC膜 ,  原子状酸素 ,  ビーム