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J-GLOBAL ID：201602202834966335   Reference number：16A0371240

Electron collision cross sections of TMS and TEOS vapours

TMS vapourおよびTEOS vapourの電子衝突断面積

Author (4)： KAWAGUCHI SATORU (室蘭工大) ,  SATO KOKI (室蘭工大) ,  TAKAHASHI KAZUHIRO (室蘭工大) ,  ITO HIDENORI (室蘭工大)
Material： 電気学会放電研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： ED-16  Issue： 20-27  Page： 29-34  Publication year： Mar. 11, 2016 
JST Material Number： Z0911A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： electron collision ,  *cross section (area) ,  *vapor ,  plasma CVD ,  thin film growth ,  transport coefficient ,  Boltzmann equation ,  *simulation ,  constant ,  electron swarm ,  aliphatic alcohol ,  inorganic acid ester ,  *Electron Collision Cross Sections ,  electron transport coefficient ,  *Monte Carlo simulation ,  rate constant

JST classification (1)： Plasma in general  (BJ02010B)

Substance index (2)： Tetramethylsilane ,  Tetraethoxysilane

Terms in the title (3)： TMS ,  TEOS ,  電子衝突断面積