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J-GLOBAL ID：201602202951054363   Reference number：16A0281465

ガリウム添加酸化亜鉛導電膜を感材とする水素センサーにおける応答速度向上のための水素ガス輸送制御

Author (4)： YAMAMOTO TETSUYA (高知工科大 総研) ,  NOMOTO JUN'ICHI (高知工科大 総研) ,  MAKINO HISAO (高知工科大 総研) ,  KISHIMOTO SEIICHI (高知工高専)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 63rd  Page： ROMBUNNO.20A-S222-2  Publication year： Mar. 03, 2016 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Gallium ,  *addition (annex) ,  *zinc oxide ,  thin film ,  *Hydrogen ,  *gas sensor ,  *response time ,  velocity ,  gas ,  film thickness ,  electron ,  semiconductor device ,  electrical conductivity ,  calculation ,  acceptor ,  Adsorption ,  Oxygen ,  arc discharge ,  ion implantation ,  Glass ,  substrate temperature ,  gallium compound ,  thin film growth ,  hydrogen gas sensor ,  response speed ,  hydrogen gas ,  semiconductor sensor ,  ab initio calculation ,  electron acceptor
Semi thesaurus term： conductive film ,  GZO

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Solic-state devices in general  (NC03010Z)

Terms in the title (6)： ガリウム添加酸化亜鉛 ,  導電膜 ,  水素センサー ,  応答速度 ,  水素ガス ,  輸送制御