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J-GLOBAL ID：201602212629649297   Reference number：16A1299350

磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法における環境セル用a-SiCN隔膜のパルスパラメータ依存性

Author (3)： MURANO MASANORI (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  MATSUTANI TAKAOMI (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  KAWASAKI TADAHIRO (近畿大 大学院総合理工学研究科)
Material： 電気関係学会関西連合大会講演論文集(CD-ROM)
Volume： 2016  Page： ROMBUNNO.G6-8  Publication year： Nov. 07, 2016 
JST Material Number： L2273B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *transmission electron microscope ,...
Semi thesaurus term： *transmission electron microscope ,...

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JST classification (2)： Microscopic methods of living organisms  (EA03050C) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (9)： 磁場 ,  パルスプラズマ ,  援用 ,  化学気相成長法 ,  環境 ,  セル ,  隔膜 ,  パルス ,  パラメータ依存性