Art

J-GLOBAL ID：201602213223723110   Reference number：16A0178777

Tips for basic vacuum science and technology

真空技術のコツ

Author (1)： ICHIMURA MASAYA (名古屋工大)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 85  Issue： 1  Page： 49-52  Publication year： Jan. 10, 2016 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum technology ,  *molecule ,  *vacuum pump ,  *gas molecule

JST classification (2)： Vacuum production and techniques  (BA02020L) ,  Vacuum pumps  (QD04030I)

Reference (2)：

• 真空技術基礎講習会運営委員会:わかりやすい真空技術 第3版(日刊工業新聞社,2010).
• M. Ichimura: J. Vac. Soc. Jpn. 58, 273 (2015).

Terms in the title (1)： 真空技術