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J-GLOBAL ID：201602217364279916   Reference number：16A0800261

Development of ambient SIMS using MeV-energy ion probe

MeVエネルギーイオンプローブを用いた環境SIMSの開発

Author (5)： KUSAKARI M. (Kyoto Univ.) ,  FUJII M. (Kyoto Univ.) ,  SEKI T. (Kyoto Univ.) ,  AOKI T. (Kyoto Univ.) ,  MATSUO J. (Kyoto Univ.)
Material： Annual Report of Quantum Science and Engineering Center  (Annu Rep Quantum Sci Eng Cent)
Volume： 18  Page： 21-25  Publication year： Jul. 2016 
JST Material Number： L6689A  ISSN： 1345-0700  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *secondary ion mass spectrometry ,  mass spectrometer ,  secondary ion ,  ion probe ,  *mass spectrum ,  *heavy ion beam ,  aromatic carboxylic acid

JST classification (1)： Mass spectrometers  (BD02060M)

Substance index (1)： Benzoic Acid

Terms in the title (5)： エネルギー ,  イオンプローブ ,  環境 ,  SIMS ,  開発