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J-GLOBAL ID：201602221047407229   Reference number：16A0647450

エアロゾルデポジション法における原料粒子の特性と製膜性

Author (6)： TANAKA MAKOTO (ファインセラミックスセ) ,  KITAOKA SATOSHI (ファインセラミックスセ) ,  SAKURADA OSAMU (岐阜大) ,  KAMIYA SHOJI (名古屋工大) ,  SHISHIDO NOBUYUKI (名古屋工大) ,  KAGAWA YUTAKA (東大)
Material： JFCC研究成果集  (JFCC研究成果発表会成果集)
Volume： 2015  Page： 27  Publication year： 2015 
JST Material Number： L1711B  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vapor deposition ,  aerosol (suspended solids) ,  thin film growth ,  *film production ,  kinetic energy ,  ceramic membrane ,  solid particle ,  substrate (plate) ,  fracture energy ,  TOF ,  crushing ,  fracture testing ,  densification ,  yttrium compound ,  titanate ,  yttrium titanate ,  energy ,  mechanical quantity
Semi thesaurus term： *aerosol deposition method

JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (3)： エアロゾルデポジション法 ,  原料粒子 ,  製膜性