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J-GLOBAL ID：201602227608411441   Reference number：16A1279552

シリコン表面における微小スケールの水滴凝縮の可視化計測及び解析

Author (7)： HONDA TAKUYA (東大) ,  FUJIMOTO KEN'YA (東大) ,  YOSHIMOTO YUTA (東大) ,  MOGI KATSUO (東京工大) ,  KINEFUCHI IKUYA (東大) ,  SUGII YASUHIKO (東京工大) ,  TAKAGI SHU (東大)
Material： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
Volume： 2016  Page： ROMBUNNO.J0540502  Publication year： Sep. 10, 2016 
JST Material Number： X0587C  ISSN： 2424-2667  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *scale ,  *nanostructure ,  *water droplet ,  *film condensation ,  *gas-solid interface ,  experiment ,  visualization ,  *silicon ,  *surface ,  scanning electron microscope ,  analysis (separation) ,  nano scale ,  visualization experiment ,  environmental scanning electron microscope ,  experimental analysis
Semi thesaurus term： ESEM(microscope) ,  experimental analysis

JST classification (2)： Solid-gos interface in general.  (CB12041H) ,  Distillation,evaporation  (XD02010F)

Terms in the title (8)： シリコン ,  微小 ,  スケール ,  水滴 ,  凝縮 ,  可視化 ,  計測 ,  解析