Art

J-GLOBAL ID：201602241095101974   Reference number：16A0690030

SiO _x and SiO _x C _z H _w mono- and multi-layer deposits for improved polymer oxygen and water vapor barrier properties

改良された高分子酸素および水蒸気バリア特性のためのSiO_xおよびSiO_xC_zH_w単層および多層堆積物

Author (5)： Charifou R. (CNRS, UMR 5223, Ingenierie des Materiaux Polymeres., 15 Bd A. Latarjet, Universite de Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, 69622 Villeurbanne, France) ,  Espuche E. (CNRS, UMR 5223, Ingenierie des Materiaux Polymeres., 15 Bd A. Latarjet, Universite de Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, 69622 Villeurbanne, France) ,  Gouanve F. (CNRS, UMR 5223, Ingenierie des Materiaux Polymeres., 15 Bd A. Latarjet, Universite de Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, 69622 Villeurbanne, France) ,  Dubost L. (Ireis/HEF, ZI Sud, Rue Benoit Fourneyron, 42166 Andrezieux-Boutheon, France) ,  Monaco B. (Sippex/Medippex, ZA la Giraudiere, 199 Route du Stade, 69690 Courzieu, France)
Material： Journal of Membrane Science  (J Membr Sci)
Volume： 500  Page： 245-254  Publication year： Feb. 15, 2016 
JST Material Number： E0669A  ISSN： 0376-7388  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *oxygen ,  *water vapor ,  *shielding ,  multilayer film ,  plasma CVD ,  film ,  precursor(substance) ,  polyethylene terephthalate ,  FTIR spectroscopy ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  topography ,  *surface quality ,  atomic force microscope ,  contact angle ,  surface energy ,  heat treatment ,  *polymer thin film ,  *membrane separation
Semi thesaurus term： film

Author keywords (5)： Plasma deposition ,  Surface analysis ,  Monolayer and multilayer deposition ,  Oxygen barrier properties ,  Water vapor barrier properties

JST classification (1)： Membrane separation  (XD02120Z)

Substance index (2)： Trimethylsilane ,  Hexamethyldisiloxane

Terms in the title (7)： 高分子 ,  酸素 ,  水蒸気 ,  バリア ,  単層 ,  多層 ,  堆積物