Art

J-GLOBAL ID：201602250146175065   Reference number：16A1280669

マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ

Author (6)： TAKAHASHI HIDETOSHI (東大) ,  KAZAMA RYOHEI (東大) ,  NGUYEN Thanh-Vinh (東大) ,  TAKAHATA TOMOYUKI (東大) ,  MATSUMOTO KIYOSHI (東洋大) ,  SHIMOYAMA ISAO (東大)
Material： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
Volume： 33rd  Page： ROMBUNNO.25am2-PS-059  Publication year： 2016 
JST Material Number： X0768B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： micro structure ,  columnar crystal ,  high sensitivity ,  sensor ,  *MEMS ,  air flow (meteorology) ,  *shearing stress ,  electric resistance ,  *piezoresistance effect ,  frictional resistance ,  Micro Electro Mechanical System sensor ,  *piezoresistance ,  stress sensing cube
Semi thesaurus term： micropillar

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V) ,  Experimental,test,measuring techniques and their apparatuses of fluids  (BC01020K)

Terms in the title (6)： マイクロ ,  ピラーアレイ ,  高感度 ,  MEMS ,  気流 ,  せん断応力