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J-GLOBAL ID：201602268291895067   Reference number：16A1053642

ナノ秒レーザー干渉光を用いた周期構造ZnOマイクロドットの作製

Author (6)： NAKAMURA DAISUKE (九大 大学院システム情報科学研究院) ,  TAKAO SHUHEI (九大 大学院システム情報科学研究院) ,  HIGASHIHATA MITSUHIRO (九大 大学院システム情報科学研究院) ,  NAKATA YOSHIKI (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  IKENOUE HIROSHI (九大 大学院システム情報科学研究院) ,  OKADA TATSUO (九大 大学院システム情報科学研究院)
Material： レーザー学会研究会報告  (Reports on Topical Meeting of the Laser Society of Japan)
Volume： 495th  Page： 21-25  Publication year： 2016 
JST Material Number： L3352A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： pulsed laser ,  nanosecond ,  *optical interference ,  laser beam ,  micromachining ,  pattern formation ,  *zinc oxide ,  *pulsed laser irradiation ,  *periodic structure ,  *semiconductor thin film ,  *quantum dot ,  *laser interference
Semi thesaurus term： *nanosecond laser

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S)

Terms in the title (7)： ナノ秒レーザー ,  干渉光 ,  周期構造 ,  ZnO ,  マイクロ ,  ドット ,  作製