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J-GLOBAL ID：201602276309557674   Reference number：16A0780740

Femtosecond pulsed light polarization induced effects in direct laser writing 3D nanolithography

レーザ直接描画3Dナノリソグラフィにおけるフェムト秒パルス偏光誘起効果

Author (7)： MALINAUSKAS Mangirdas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  REKSTYTE Sima (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  JONAVICIUS Tomas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  GAILEVICIUS Darius (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  MIZEIKIS Vygantas (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  GAMALY Eugene G. (Australian National Univ., ACT, AUS) ,  JUODKAZIS Saulius (Swinburne Univ. Technol., VIC, AUS)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 9736  Page： 973608.1-973608.15  Publication year： 2016 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser lithography ,  nanostructure ,  *laser pulse ,  pulsed laser ,  pulse duration ,  polarized light ,  focusing (light) ,  pulsed laser irradiation ,  plasma production ,  heat flux ,  *photopolymerization ,  aspect ratio ,  conductive heat transfer ,  transport phenomenon
Semi thesaurus term： heat conduction ,  nano lithography ,  *direct laser lithography

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： レーザ直接描画 ,  3D ,  ナノリソグラフィ ,  フェムト秒パルス ,  偏光