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J-GLOBAL ID：201603000393704706

近赤外光領域波長低光学損失の透明導電膜及び該透明導電膜の製造方法

Inventor： 野本 淳一 ,  山本 哲也
Applicant, Patent owner： 高知県公立大学法人
Agent (1)： 清原 義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015011786
Publication number (International publication number)：2016135904
Application date： Jan. 23, 2015
Publication date： Jul. 28, 2016
Summary：

【課題】ガリウムが添加された酸化亜鉛薄膜であり、低光学損失、及び低電気抵抗率にすぐれた透明導電膜及び低光学損失、及び低電気抵抗率にすぐれた透明導電膜の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】ガリウムが添加された酸化亜鉛薄膜の透明導電膜であって、電気抵抗率が3.5×10-4Ωcm以下であり、キャリア密度が6.8×1020/cm3以上であり、ホール移動度が27cm2/Vs以上であることを特徴とする透明導電膜である。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ガリウムが添加された酸化亜鉛薄膜の透明導電膜であって、 電気抵抗率が3.5×10-4Ωcm以下であり、キャリア密度が6.8×1020/cm3以上であり、ホール移動度が27cm2/Vs以上であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (3)：

C23C 14/08 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00

FI (3)：

C23C14/08 C ,  H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B

F-Term (12)：

4K029AA09 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA04 ,  4K029DB05 ,  4K029DD05 ,  4K029DD06 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04