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J-GLOBAL ID：201603001695199322

ダイヤモンドのエッチング方法、ダイヤモンドの結晶欠陥の検出方法、およびダイヤモンド結晶の結晶成長方法

Inventor： 姚 永昭 ,  石川 由加里 ,  山田 英明 ,  茶谷原 昭義
Applicant, Patent owner： 一般財団法人ファインセラミックスセンター ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 水野 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014259658
Publication number (International publication number)：2016119428
Application date： Dec. 24, 2014
Publication date： Jun. 30, 2016
Summary：

【課題】ダイヤモンドをより容易にエッチングする技術を提供する。【解決手段】ダイヤモンドをエッチングするに際して、まず、アルカリ金属ハロゲン化物からなる主剤と、アルカリ金属水酸化物を含む添加剤と、からなるエッチング剤を準備する。次いで、準備したエッチング剤を溶融するとともに、溶融したエッチング剤にダイヤモンドを浸漬する。これにより、ダイヤモンドがエッチングされる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドのエッチング方法であって、 アルカリ金属ハロゲン化物からなる主剤と、アルカリ金属水酸化物を含む添加剤と、からなるエッチング剤を準備し、 溶融した前記エッチング剤に前記ダイヤモンドを浸漬することにより、前記ダイヤモンドをエッチングする、 ダイヤモンドのエッチング方法。

IPC (5)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  A44C 27/00

FI (5)：

H01L21/306 M ,  H01L21/205 ,  C30B29/04 V ,  C01B31/06 Z ,  A44C27/00

F-Term (27)：

3B114JA00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA03 ,  4G077EE04 ,  4G077FG06 ,  4G077GA02 ,  4G077GA06 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077HA20 ,  4G146AA04 ,  4G146AB05 ,  4G146AD28 ,  4G146CB11 ,  4G146CB12 ,  4G146CB15 ,  4G146CB34 ,  4G146CB38 ,  5F043AA05 ,  5F043BB12 ,  5F043FF07 ,  5F043GG10 ,  5F045AA03 ,  5F045AB07 ,  5F045AF02 ,  5F045AF12 ,  5F045GH03