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J-GLOBAL ID：201603005229095440

ワーク浮上装置

Inventor： 吉本 成香 ,  津野 洋明 ,  杣谷 啓
Applicant, Patent owner： 吉本 成香 ,  津野 洋明 ,  杣谷 啓
Agent (4)： 津野 孝 ,  小田 光春 ,  加藤 来 ,  清水 貴光
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012118927
Publication number (International publication number)：2013245731
Patent number：5852508
Application date： May. 24, 2012
Publication date： Dec. 09, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、 前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設してベース面の端部まで延びる複数の溝部とを有し、 前記給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと該多孔質フィルムの上に積層される第1平板状通気部材と前記多孔質フィルムの下に積層される第2平板状通気部材とで構成されていることを特徴とするワーク浮上装置。

IPC (2)：

F16C 32/06 ( 200 6.01) ,  F16C 29/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

F16C 32/06 A ,  F16C 29/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ステージ装置および塗布処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-046422   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• ワーク移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-250880   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• スライドテーブル装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-231115   Applicant：三鷹光器株式会社