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J-GLOBAL ID：201603005852298882

試料観察方法

Inventor： 大南 祐介 ,  許斐 麻美 ,  伊東 祐博 ,  大瀧 智久 ,  河西 晋佐
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (3)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015199039
Publication number (International publication number)：2016001629
Application date： Oct. 07, 2015
Publication date： Jan. 07, 2016
Summary：

【課題】使い勝手良く試料を荷電粒子技術及び光学技術にて的確に検査又は観察することが可能な検査装置、観察装置が提供される。【解決手段】荷電粒子照射部から放出された一次荷電粒子線が試料に到達する間の少なくとも一部の領域となる真空状態に維持可能な第一空間の少なくとも一部を形成する第一の筐体と、該第一筐体に具備され前記試料を格納可能な第二空間の少なくとも一部を形成する第二筐体と、前記荷電粒子照射部から照射された一次荷電粒子線が試料上に照射する際の前記荷電粒子照射部の同軸上に配置され、前記第一空間と前記第二空間とを隔てる隔壁部と、前記試料に対し光を照射し、前記荷電粒子照射部と同方向から前記試料からの光を検出する光学式観察部と、を備える検査又は観察装置が提供される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、真空室と、試料が格納される試料室とを有する荷電粒子線装置を用いた試料観察方法であって、 前記荷電粒子線を透過する薄膜によって前記試料室を前記真空室より圧力が高い状態に維持し、 前記薄膜の下面の高さと光学顕微鏡の鏡筒の下端の高さとの距離を求め、 前記試料と前記鏡筒との距離を測定し、 前記距離と前記関係に基づいて、前記試料と前記薄膜との距離を設定する試料観察方法。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (2)：

H01J37/20 D ,  H01J37/28 B

F-Term (6)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001BB03 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10