Pat
J-GLOBAL ID：201203040782829427
荷電粒子線装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011086904
Publication number (International publication number)：2012221766
Application date： Apr. 11, 2011
Publication date： Nov. 12, 2012
Summary：
【課題】従来の高真空型荷電粒子顕微鏡の構成を大きく変更することなく、被観察試料を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気(ないしガス雰囲気)を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、上記薄膜を保持でき、かつ内部を大気雰囲気あるいはガス雰囲気に維持可能なアタッチメントを高真空型荷電粒子顕微鏡の真空試料室に挿入して使用する。当該アタッチメントは、上記真空試料室の真空隔壁に真空シールされて固定される。アタッチメント内部をヘリウムや窒素あるいは水蒸気といった大気ガスよりも質量の軽い軽元素ガスで置換することにより、更に画質が向上する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
一次荷電粒子線を試料上に走査する荷電粒子光学鏡筒と、前記走査により得られる反射電子あるいは二次電子を検出する検出器と、真空ポンプとを備える荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線装置全体を装置設置面に対して支持され、内部が前記真空ポンプにより真空排気される第1の筐体と、
当該第1の筐体の側面または内壁面あるいは前記荷電粒子光学鏡筒に位置が固定される、前記試料を内部に格納する第2の筐体と、
当該第2の筐体の上面側に設けられる、前記一次荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜とを備え、
前記第2の筐体内部の圧力を、前記第1の筐体内部の圧力よりも高い状態に維持できることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3)：
H01J 37/20
, H01J 37/28
, H01J 37/18
H01J37/20 Z
, H01J37/28 B
, H01J37/18
5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001BB03
, 5C001CC04
, 5C033KK07
, 5C033KK09
, 5C033UU03
, 5C033UU04
, 5C033UU06
, 5C033UU10
Cited by applicant (8)
Show all
Cited by examiner (8)
Show all
Return to Previous Page
