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J-GLOBAL ID：201603006996091316
軽元素分析装置及び軽元素分析方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014132149
Publication number (International publication number)：2016011840
Application date： Jun. 27, 2014
Publication date： Jan. 21, 2016
Summary：
【課題】本発明は、10nm以下の高空間分解能で軽元素を容易に検出可能な軽元素分析装置及び軽元素分析方法を提供することを課題とする。【解決手段】イオン検出器23と電子検出器24と試料25を配置可能な基板ホルダー26とを有する軽元素分析装置11であり、基板ホルダー26をイオン検出器23及び電子検出器24の位置に対して移動可能とされ、分析対象部25aをイオン検出面23a及び電子検出面24aに対向配置可能とされ、最短距離D2次イオン飛行距離が12mm以上300mm以下であり、かつ、最短距離D2次電子飛行距離が2mm以上100mm以下である軽元素分析装置を用いることにより、前記課題を解決できる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
イオン検出面を有する2次イオン検出器と、電子検出面を有する電子検出器と、分析対象部を有する試料を配置可能な基板ホルダーとを有する軽元素分析装置であって、
前記基板ホルダーの位置を、前記2次イオン検出器の位置及び前記電子検出器の位置に対して水平・垂直・回転移動可能とされており、
前記分析対象部を、前記イオン検出面及び前記電子検出面に対向配置可能とされており、
前記対向配置したときに、前記分析対象部から前記イオン検出面までの最短距離D2次イオン飛行距離が12mm以上300mm以下であり、かつ、前記分析対象部から前記電子検出面までの最短距離D2次電子飛行距離が2mm以上100mm以下であることを特徴とする軽元素分析装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (14)：
2G001AA05
, 2G001BA06
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001CA05
, 2G001CA10
, 2G001DA02
, 2G001GA03
, 2G001KA01
, 2G001LA11
, 2G001NA01
, 2G001NA03
, 2G001NA04
, 2G001NA16
