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J-GLOBAL ID：201603007707966187
非蒸発型ゲッターポンプ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
杉村 憲司
, 田中 達也
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012279715
Publication number (International publication number)：2014122599
Patent number：6016159
Application date： Dec. 21, 2012
Publication date： Jul. 03, 2014
Claim (excerpt)：
【請求項1】 非蒸発型ゲッターポンプにおいて、
互いに離間し、対向して配置された2枚の支板と、
前記支板の双方にそれぞれ設けられた貫通孔に両端部を挿入され、前記支板の少なくとも一方に保持された直線状のヒータと、
前記支板間で、前記ヒータの周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、前記ヒータの延在方向に非蒸発型ゲッターピルを積層してなる一組のゲッターピル積層体と、
前記ヒータの周りに対称的に配置されるとともに、それぞれ、少なくとも前記支板間を直線状に延びる一組の支柱とを備え、
前記一組の支柱は、前記支板で前記一組のゲッターピル積層体を挟持するように、前記支板を互いに連結していることを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプ。
IPC (1)：
FI (1)：
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