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J-GLOBAL ID：201603008600661177

アルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法およびアルミニウム含有酸化物薄膜

Inventor： 高橋 清 ,  宮島 晋介
Applicant, Patent owner： 日本アルキルアルミ株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
Agent (1)： 岡本 寛之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015021329
Publication number (International publication number)：2016141882
Application date： Feb. 05, 2015
Publication date： Aug. 08, 2016
Summary：

【課題】アルミニウム含有酸化物薄膜の成膜速度の向上を図ることができるアルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法、および、その製造方法により製造されるアルミニウム含有酸化物薄膜を提供すること。【解決手段】トリメチルアルミニウムおよびジメチルアルミニウムハイドライドを含むアルミニウム含有組成物と、酸素原子を含む酸素含有化合物とを原料として、原子層堆積法により、アルミニウム含有酸化物薄膜を成膜する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

トリメチルアルミニウムおよびジメチルアルミニウムハイドライドを含むアルミニウム含有組成物と、酸素原子を含む酸素含有化合物とを原料として、原子層堆積法により、アルミニウム含有酸化物薄膜を成膜することを特徴とする、アルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C23C 16/40 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/316

FI (3)：

C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L21/316 X

F-Term (14)：

4K030AA01 ,  4K030AA11 ,  4K030BA43 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA15 ,  4K030LA21 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF04 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37