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J-GLOBAL ID：201603013736840605

算出装置、算出方法、算出プログラム

Inventor： 今澤 良太
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
Agent (3)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  平川 明
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011274818
Publication number (International publication number)：2013125699
Patent number：5854381
Application date： Dec. 15, 2011
Publication date： Jun. 24, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】プラズマに入射するレーザーの偏光の方位角、楕円率角、前記プラズマを通過したレーザーの偏光の方位角、楕円率角を取得する取得部と、 前記プラズマに入射するレーザーの偏光の前記方位角、前記楕円率角、前記プラズマを通過したレーザーの偏光の前記方位角と前記楕円率角とに基づいて、前記プラズマ中の磁場分布、電子密度分布、電子温度分布のうち1つ以上を算出する算出部と、 を備える算出装置。

IPC (4)：

H05H 1/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/21 ( 200 6.01) ,  G01J 5/58 ( 200 6.01) ,  G21B 1/05 ( 200 6.01)

FI (4)：

H05H 1/00 A ,  G01N 21/21 Z ,  G01J 5/58 ,  G21B 1/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-189440
  
• プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-078099   Applicant：富士通株式会社
• プラズマ処理装置およびこれを用いたプラズマモニタリング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-157160   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平3-156346