Pat

J-GLOBAL ID：201603014454327871

切断面の検出方法

Inventor： 鈴木 孝昌 ,  村松 正吾 ,  追立 俊朗 ,  村田 光由
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 新潟大学 ,  戸塚金属工業株式会社 ,  テクノケア株式会社
Agent (2)： 牛木 護 ,  高橋 知之
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011229240
Publication number (International publication number)：2013088293
Patent number：5875040
Application date： Oct. 18, 2011
Publication date： May. 13, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】照明手段の照明光が照射される方向に、前記照明手段、第1の偏光フィルタ、試料、第2の偏光フィルタ、撮影手段の順に配置するとともに、前記第1の偏光フィルタの偏光方向を所定の方向に向けて前記第1の偏光フィルタの偏光方向と前記第2の偏光フィルタの偏光方向を直交させ、前記照明手段が発する光を前記第1の偏光フィルタを透過させ前記試料の切断面で反射させてから前記第2の偏光フィルタを透過させ前記撮影手段により撮影して第1の画像を取得し、 前記第1の偏光フィルタの偏光方向を前記所定の方向から傾かせるとともに、前記第1の偏光フィルタの偏光方向と前記第2の偏光フィルタの偏光方向を直交させたほかは前記第1の画像を撮影した条件と同じ条件で第2の画像を取得し、 前記第1、第2の画像を加算して切断面を検出することを特徴とする切断面の検出方法。

IPC (1)：

G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 11/24 K