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J-GLOBAL ID：201603014582628515

加工方法及び加工装置

Inventor：
久保田 章亀

About 久保田 章亀


Applicant, Patent owner：
国立大学法人 熊本大学

About 国立大学法人 熊本大学


Agent (4)： 有吉 修一朗 ,  森田 靖之 ,  遠藤 聡子 ,  梶原 圭太
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014266464
Publication number (International publication number)：2016127130
Application date： Dec. 26, 2014
Publication date： Jul. 11, 2016
Summary：
【課題】ダイヤモンド等の難加工性の高機能材料表面の微小な領域を高能率かつ高精度に加工することができる加工方法及びこうした加工方法を実現可能な加工装置を提供する。【解決手段】加工装置1は、オゾンガス供給ポート2と、無機酸化物製工具3と、ダイヤモンド部材4を保持する試料ホルダー5を有している。オゾンガス供給ポート2は、無機酸化物製工具3の先端近傍に配置され、無機酸化物製工具3及びダイヤモンド部材4の接触部位にむけてオゾンガス6を供給する。無機酸化物製工具3の先端表面は、オゾンにより清浄化かつ親水化処理され、ダイヤモンド部材4が接して被加工物が研磨されることとなる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
金属酸化物で構成された微小な加工部材を被加工物と接触させ、接触部位にオゾンを供給し前記加工部材を清浄化かつ親水化処理すると共に、前記加工部材を前記被加工物に接触させた状態で変位させる工程を備える 加工方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 ,  C30B 29/04
FI (2)：
H01L21/304 622W ,  C30B29/04 V
F-Term (13)：
4G077AA02 ,  4G077BA03 ,  4G077FG13 ,  4G077FG20 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  5F057AA01 ,  5F057BA30 ,  5F057BB02 ,  5F057CA11 ,  5F057DA31 ,  5F057DA40 ,  5F057EB26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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