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J-GLOBAL ID:201603016412069778

非晶質炭素膜への機能性材料の固定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 奥原 康司 ,  関本 澄人
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2012075162
Publication number (International publication number):2013203606
Patent number:5935027
Application date: Mar. 28, 2012
Publication date: Oct. 07, 2013
Claim (excerpt):
【請求項1】 非晶質炭素膜表面に、アルゴン、ネオン、ヘリウム、クリプトン、キセノンのいずれかのガス又はこれらの混合ガスをプラズマガス種とする、パルスプラズマを照射する工程(a)を備えていることを特徴とする、非晶質炭素膜に機能性材料を固定する方法。
IPC (2):
C01B 31/02 ( 200 6.01) ,  A61L 31/00 ( 200 6.01)
FI (2):
C01B 31/02 101 Z ,  A61L 31/00 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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