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J-GLOBAL ID：201603017711155563
透過波面計測装置及び透過波面計測方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉村 俊一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014169226
Publication number (International publication number)：2016045070
Application date： Aug. 22, 2014
Publication date： Apr. 04, 2016
Summary：
【課題】屈折率分布の変化が基板の内部歪に起因するのか、基板の表面の凹凸に起因するのかを区別できるようにする。【解決手段】光源2、被検査物の背面側の凹面鏡3、収束光を平行光に変換するレンズ4、回折光を形成する回折格子5、干渉縞を撮像する撮像部6、及び干渉縞の画像データに基づいて演算を行う演算処理部7を備え、レンズ4は、被検査物の像を撮像部6上に共役結像させ、トールボット像が形成される位置に撮像部6を置き、特定方向に振動する偏光を形成する第1偏光形成手段11と、特定方向に直交して振動する偏光を形成する第2偏光形成手段12とを備え、各偏光形成手段により形成された偏光を交互に撮像部6に入射し、フーリエ変換法で空間周波数スペクトルを演算し、そのデータにより被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を算出し、各入射手段により入射された偏光を撮像した撮像データに基づいて、両者の光路長の差を算出する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被検査物に発散光を照射する光源と、
前記被検査物の背面側に配置された凹面鏡と、
前記凹面鏡によって反射された光を透過させて回折光を形成する回折格子と、
前記回折光により形成される干渉縞を撮像する撮像部と、
前記干渉縞の撮像データに基づいて所定の演算を行う演算処理部と、を備え、
前記レンズは、前記凹面鏡を反射して前記被検査物を透過した前記収束光に基づいて前記撮像部上に前記被検査物の像を共役結像させ、
前記撮像部は、前記回折光がトールボット像を形成する位置に配置され、
特定方向に振動する偏光を形成する第1偏光形成手段と、前記特定方向に直交する方向に振動する偏光を形成する第2偏光形成手段とを更に備え、
前記第1偏光形成手段により形成された偏光と、前記第2偏光形成手段により形成された偏光とが、交互に前記撮像部に入射され、
前記演算処理部は、フーリエ変換法によって空間周波数スペクトルを演算し、該空間周波数スペクトルのデータに基づいて前記被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を算出する演算と、
前記第1入射手段により入射された偏光を撮像した撮像データと、前記第2入射手段により入射された偏光を撮像した撮像データと、に基づいて、両者の光路長の差を算出する演算と、を実行すること特徴とする透過波面計測装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M11/00 T
, G01N21/45 A
2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE01
, 2G059EE04
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG04
, 2G059HH02
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ14
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G086HH07
Cited by examiner (6)
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