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J-GLOBAL ID：201603018497295537

プラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法

Inventor： 鎌田 義徳 ,  内呂 和幸 ,  原田 信弘 ,  菊池 崇志 ,  佐々木 徹 ,  高橋 一匡
Applicant, Patent owner： 株式会社三英社製作所 ,  国立大学法人長岡技術科学大学
Agent (1)： 小川 眞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014125850
Publication number (International publication number)：2016004728
Application date： Jun. 19, 2014
Publication date： Jan. 12, 2016
Summary：

【課題】清掃対象物の損傷を抑えつつ、その清掃対象物を確実に清掃することができるプラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置1は、絶縁性を有し、気体が流れる管2aと、その管2a内でプラズマを発生させるための第1の電極2c及び第2の電極2dと、それらの第1の電極2c及び第2の電極2dに対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生したプラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部3とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁性を有し、気体が流れる管と、 前記管内に電界を生じさせるための第1の電極及び第2の電極と、 前記第1の電極及び前記第2の電極に対し、絶縁破壊を生じさせてプラズマを発生させる第1のパルス及び発生した前記プラズマを維持する第2のパルスを組み合わせて印加する電圧印加部と、 を備えることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 ,  B08B 7/00

FI (2)：

H05H1/24 ,  B08B7/00

F-Term (3)：

3B116AA46 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01