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J-GLOBAL ID：201702214817055676   Reference number：17A1811207

In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr,Ti)O₃ films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition

MOCVDでシリコン(100)基板上に成長させた{100}配向Pb(Zr,Ti)O₃膜の面内配向と結晶構造の組成依存性及び電気的性質

Author (7)： OKAMOTO Shoji (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  KRISHNAN P. S. Sankara Rama (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  OKAMOTO Satoshi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  YOKOYAMA Shintaro (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  AKIYAMA Kensuke (Kanagawa Inst. of Industrial Sci. and Technol., Kanagawa, JPN) ,  AKIYAMA Kensuke (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  FUNAKUBO Hiroshi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 56  Issue： 10S  Page： 10PF12.1-10PF12.5  Publication year： Oct. 2017 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *wafer ,  *lead zirconate titanate ,  *orientation(direction) ,  *crystal structure ,  *dependence ,  *electrical property ,  platinum ,  strontium compound ,  ruthenium compound ,  oxoate ,  nickelate ,  lanthanum compound ,  ceramics ,  yttrium oxide ,  zirconium oxide ,  *permittivity ,  *dielectric polarization ,  *thin film ,  *texture(metal) ,  *strain ,  atomic force microscope ,  *coercive electric field
Semi thesaurus term： *silicon substrate ,  *composition dependency ,  strontium ruthenate ,  lanthanum nickelate ,  yttria stabilized zirconia ,  *saturation polarization ,  *epitaxial film

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Dielectrics in general  (BM05010F)

Terms in the title (11)： MOCVD ,  シリコン ,  成長 ,  配向 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  結晶構造 ,  組成依存性 ,  電気的性質