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J-GLOBAL ID：201702221153285186   Reference number：17A1810915

Damage-free polymer surface modification employing inward-type plasma

内向き型プラズマを利用した無損傷高分子表面改質

Author (10)： KANOU Ryo (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  KANOU Ryo (Sanyu Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  SUGA Hiroshi (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  UTSUMI Hideyuki (Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN) ,  TAKAHASHI Satoshi (Sanyu Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  SHIRAYAMA Yuya (Sanyu Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  WATANABE Norimichi (National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN) ,  WATANABE Norimichi (Kanagawa Univ., Yokohama, JPN) ,  PETIT Stephane (OptoIntel, Pessac, FRA) ,  SHIMIZU Tetsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 56  Issue： 8  Page： 086201.1-086201.9  Publication year： Aug. 2017 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma ,  *macromolecule ,  *surface modification ,  capillary tube ,  electric discharge ,  polyimide ,  polymethyl methacrylate ,  polycarbonate ,  *surface treatment ,  contact angle ,  hydrophilicity ,  machining time ,  plasma jet ,  surface chemistry ,  topography ,  surface roughness ,  flatness(property)
Semi thesaurus term： etching gas ,  polymethylmethacrylate ,  micro plasma jet

JST classification (2)： Surface treatment  (YH04112X) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Reference (39)：

• S. Samukawa, M. Hori, S. Rauf, K. Tachibana, P. Bruggeman, G. Kroesen, J. C. Whitehead, A. B. Murphy, A. F. Gutsol, S. Starikovskaia, U. Kortshagen, J. P. Boeuf, T. J. Sommerer, M. J. Kushner, U. Czarnetzki, and N. Mason, J. Phys. D 45, 253001 (2012).
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• A. Schutze, J. Y. Jeong, S. E. Babayan, J. Park, G. S. Selwyn, and R. F. Hicks, IEEE Trans. Plasma Sci. 26, 1685 (1998).

Terms in the title (4)： プラズマ ,  損傷 ,  高分子表面 ,  改質