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J-GLOBAL ID：201702229518441826   Reference number：17A0219436

Atomic step-and-terrace surface of polyimide sheet for advanced polymer substrate engineering

先端的高分子基板工学用のポリイミドシートの原子ステップ・テラス表面

Author (10)： TAN G (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  SHIMADA K (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  NOZAWA Y (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  KANEKO S (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  KANEKO S (Kanagawa Industrial Technol. Center, Kanagawa, JPN) ,  URAKAMI T (Mitsui Chemicals, Chiba, JPN) ,  KOYAMA K (Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN) ,  KOMURA M (Numazu National Coll. of Technol., Shizuoka, JPN) ,  MATSUDA A (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  YOSHIMOTO M (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
Material： Nanotechnology
Volume： 27  Issue： 29  Page： 295603,1-6  Publication year： Jul. 22, 2016 
JST Material Number： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *patterning (transcription) ,  *compression forming ,  *polyimide ,  *membrane and film ,  surface steps ,  surface terrace ,  nanostructure ,  indium tin oxide ,  compound semiconductor ,  oxide ,  thin film growth ,  *flexible circuit board ,  substrate (plate) ,  printed board ,  polymer substrate ,  oxide thin film ,  transparent conducting oxide
Semi thesaurus term： *nanoimprint ,  *ポリイミドシート

JST classification (1)： Printed circuits  (NA05040O)

Terms in the title (5)： 高分子基板 ,  工学 ,  ポリイミド ,  原子 ,  テラス