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J-GLOBAL ID：201702237194998617   Reference number：17A1157617

マイクロプローブのその場校正法を用いたマイクロスリット溝幅の精密測定

Author (6)： ITO SO (富山県大) ,  CHEN YuanLiu (東北大) ,  KIKUCHI HIROTAKA (東北大) ,  KOBAYASHI RYO (東北大) ,  SHIMIZU YUKI (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
Material： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
Volume： 2017  Page： ROMBUNNO.C04  Publication year： 2017 
JST Material Number： L0894B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *precision measurement ,  *microprobe ,  painting and coating ,  groove shape ,  measurement error ,  *block gauge ,  calibration ,  *measurement
Semi thesaurus term： groove shape ,  calibration (measurement) ,  *dimensional measurement

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (6)： マイクロプローブ ,  校正 ,  マイクロ ,  スリット ,  溝幅 ,  精密測定