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J-GLOBAL ID：201702270213236008   Reference number：17A1354997

Silicon-based micro thermoelectric generator fabricated by CMOS compatible process

CMOS互換プロセスで作製したシリコンベースのマイクロ熱電発電機【Powered by NICT】

Author (1)： Watanabe Takanobu (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Shinjuku, Tokyo, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2017  Issue： IMFEDK  Page： 22-23  Publication year： 2017 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Energy harvester is a key devi...

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Thesaurus term： electric power ,  computer architecture ,  sensor network ,  *complementary metal oxide semiconductor ,  thermoelectromotive force ,  miniaturization ,  silicon
Semi thesaurus term： 電力密度 ,  シリコンナノワイヤ ,  エネルギーハーベスティング ,  熱エネルギー ,  エネルギーハーベスタ ,  *熱電発電機 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (3)： Energy conversion equipment  (LC01020U) ,  Thermoelectric power generation,thermionic power generation  (NB03080V) ,  Other power generations  (NB03140M)

Terms in the title (5)： CMOS ,  プロセス ,  作製 ,  シリコン ,  熱電発電機