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J-GLOBAL ID：201702270831069574   Reference number：17A0569192

Stabilization of the Precision Positioning Stage Working in the Vacuum Environment by Using the Disturbance Observer

外乱オブザーバを用いた真空環境下での精密位置決めステージの安定化

Author (2)： MORITA Kazuhiro (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN) ,  WAKUI Shinji (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
Material： Proceedings of IIAE International Conference on Industrial Application Engineering (Web)  (ICIAE (Web))
Volume： 4th  Page： WEB ONLY  Publication year： 2016 
JST Material Number： U0991A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *system observer ,  disturbance ,  *positioning ,  position control ,  accuracy ,  *Vacuum ,  positioning device ,  electron beam ,  testing device ,  feedback control ,  PID action ,  PID control ,  X-Y stage ,  *disturbance observer ,  *precise positioning
Semi thesaurus term： inspection tool ,  *vacuum

JST classification (1)： System identification  (IA02040O)

Terms in the title (6)： 外乱オブザーバ ,  真空 ,  環境 ,  精密位置決め ,  ステージ ,  安定化