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J-GLOBAL ID：201702272739494706   Reference number：17A0576469

高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究(第2報)-サファイアに対する加工特性-

Author (5)： JIN MASAHIKO (日本工大) ,  KANAI HIDENARI (industria) ,  TAKAHASHI KAZUAKI (industria) ,  WATANABE TAKESHI (日進工具) ,  GOTO TAKASHI (日進工具)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2017  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.A02  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *frequency(Hz) ,  *ultrasonic vibration ,  *diamond grinding wheel ,  *sapphire ,  test piece ,  *polishing(machining) ,  chip(cutting) ,  morphology(form) ,  *polished surface ,  *ultrasonic machining ,  *ultrasonic wave ,  *brittle material ,  *hardness
Semi thesaurus term： electrodeposition grinding stone ,  chip morphology ,  high hardness

JST classification (3)： Grinding  (QC03000R) ,  Other surface treatment  (WC08070F) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (2)：

• 坂本武司他:4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究,砥粒加工学会誌,Vol.58,No.4,p.24-29,(2014).
• 神雅彦:超音波振動が砥粒加工に与える効果,2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,p.605-606.

Terms in the title (6)： 高硬度脆性材料 ,  超音波 ,  研磨加工 ,  基礎的研究 ,  サファイア ,  加工特性