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J-GLOBAL ID：201702274118592265   Reference number：17A1694139

Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection

電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出

Author (8)： TASHIRO TOMOYA (群馬大) ,  OSHIMA KAKERU (群馬大) ,  SAKURAI YUYA (群馬大) ,  ZHANG Hui (群馬大) ,  SUZUKI TAKAAKI (群馬大) ,  OSHIMA NORIYASU (群馬大) ,  IZUMI TAKASHI (群馬大) ,  SONE HAYATO (群馬大)
Material： 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： BMS-17  Issue： 47-56  Page： 11-16  Publication year： Oct. 04, 2017 
JST Material Number： L6187A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electron beam lithography ,...
Semi thesaurus term： *electron beam lithography

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JST classification (1)： Biophysical research methods  (EA03020V)

Terms in the title (5)： 電子線リソグラフィ ,  Si ,  作製 ,  低濃度 ,  抗体