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J-GLOBAL ID：201702278041556697   Reference number：17A1639840

Synthesis of highly c-axis-oriented ZnO thin films using novel laser-enhanced electrospray CVD under atmospheric pressure

大気圧下での新しいレーザ増強エレクトロスプレイCVDを用いた高c軸配向ZnO薄膜の合成【Powered by NICT】

Author (4)： Suehiro Satoshi (Japan Fine Ceramic Center (JFCC), Materials Research and Development Laboratory, 2-4-1 Mutuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan. [e-mail]) ,  Kimura Teiichi ,  Yokoe Daisaku ,  Takahashi Seiji
Material： CrystEngComm
Volume： 19  Issue： 40  Page： 5995-6001  Publication year： 2017 
JST Material Number： W2462A  ISSN： 1466-8033  CODEN： CRECF4  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Highly c-axis-oriented ZnO nan...

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Thesaurus term： chemical vapor deposition ,  *thin film ,  carrier density ,  optical gap ,  *zinc oxide ,  electrical resistivity ,  transmissivity ,  polycrystal ,  *laser ,  single crystal ,  nanostructure ,  mobility (ratio) ,  *ZnO film
Semi thesaurus term： *c軸配向 ,  *エレクトロスプレイ , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： 大気圧 ,  レーザ ,  増強 ,  エレクトロスプレイ ,  CVD ,  c軸配向 ,  ZnO薄膜