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J-GLOBAL ID：201702280020316991   Reference number：17A0250608

半導体材料・デバイスの最新の進展 1. 酸化物半導体の物性とデバイス応用

Author (1)： KANEKO KENTARO (京都大学 工学研究科 光・電子理工学教育研究センター)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 66  Issue： 1  Page： 58-65(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *compound semiconductor ,  *corundum type crystal ,  *solid solution ,  indium oxide ,  germanium oxide ,  aluminum oxide ,  *metastable phase ,  *band gap ,  semiconductor device ,  *chemical vapor deposition ,  ultraviolet radiation ,  solid state device ,  semiconductor thin film
Semi thesaurus term： *wide band gap ,  *oxide semiconductor ,  power device ,  *mist CVD ,  deep ultraviolet ,  light-emitting device

Author keywords (8)： Oxide ,  Meta-stable ,  Semiconductor ,  Wide bandgap ,  Power devices ,  Mist CVD ,  Schottky barrier diodes ,  Corundum-structured oxide thin film

JST classification (2)： Electronic structure of crystalline semiconductors  (BM02060N) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (57)：

• 1) M. Kitada, “Elementary Metal Physics” AGNE pp.3-6 (1978) .
• 2) K.Kaneko, “Fabrication and physical properties of corudum-structured alloys based on gallium oxide.” Doctor Thesis, Kyoto University, pp.5-6 (2013)
• 3) A. Kawabata, and T. Ohmori, “Material engineering of electrical and electronics engineering”, BAIFUKAN, pp.20-21 (1987).
• 4) J. G. Bednorz and K. A. Müller, “Possible high Tc superconductivity in the Ba-La-Cu-O system” Zeitschrift für Physik B Condensed Matter, Vol.64 Iss.2 pp.189-193 (1986).
• 5) S. Uchida, H. Takagi, K. Kitazawa and S. Tanaka, “High Tc Superconductivity of La-Ba-Co oxides” Japanese Journal of Applied Physics Vol.26 No. 1 pp. L 1-L 2 (1987).

Terms in the title (5)： 半導体材料 ,  進展 ,  酸化物半導体 ,  物性 ,  応用