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J-GLOBAL ID：201702288222542179   Reference number：17A0568443

Surface Properties of (Cr,Al,Si)N Films Synthesized by RF Magnetron Sputtering Method

高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した(Cr,Al,Si)Nの表面特性

Author (2)： KITAMIKA YUDAI (佐賀大 大学院工学系研究科) ,  HASEGAWA HIROYUKI (佐賀大 大学院工学系研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 68  Issue： 5  Page： 298-302  Publication year： May. 01, 2017 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ceramic coating ,  *film ,  cutting tool ,  machinability ,  *chromium compound ,  *nitride ,  *aluminum compound ,  hardness ,  silicon nitride ,  additive effect ,  micro structure ,  friction coefficient ,  oxidation resistance ,  tool wear ,  *mechanical property ,  crystal structure ,  phase transformation
Semi thesaurus term： *hard film ,  CrN ,  surface hardness

JST classification (2)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (29)：

• 1)原田広史, 横川忠晴 ; まてりあ, 42, 621(2003).
• 2)E. O. Ezugwu ; Int. J. Mach. Tools Manuf., 45, 1353(2005).
• 3)I. A. Choudhury, M.A. El-Baradie ; J. Mater. Process. Technol., 77, 278(1998).
• 4)A. Münster ; Angew. Chem., 69, 281(1957).
• 5)W. D. Münz ; J. Vac. Sci. Technol. A, 4, 2717(1986).

Terms in the title (6)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  Cr ,  Al ,  Si ,  表面特性