硬質カーボン膜製NF又はRO膜、濾過フィルター、2層接合型濾過フィルター及びそれらの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：續成朗 , 西澤利夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015551019
Patent number：6202450
Application date： Nov. 28, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】硬質カーボン膜からなり、厚みが5nm以上300nm以下であり、孔の最大径が0.86nm未満であることを特徴とする硬質カーボン膜製NF又はRO膜。

IPC (10)：

B01D 71/02 ( 200 6.01) , B01D 69/10 ( 200 6.01) , B01D 69/12 ( 200 6.01) , B01D 71/68 ( 200 6.01) , B01D 69/02 ( 200 6.01) , C01B 32/05 ( 201 7.01) , C01B 32/15 ( 201 7.01) , C23C 14/06 ( 200 6.01) , C23C 16/27 ( 200 6.01) , C23C 16/505 ( 200 6.01)

FI (10)：

B01D 71/02 , B01D 69/10 , B01D 69/12 , B01D 71/68 , B01D 69/02 , C01B 32/05 , C01B 32/15 , C23C 14/06 F , C23C 16/27 , C23C 16/505

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開昭63-185428
浸透気化膜の製造方法および浸透気化法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-064683 Applicant：日本碍子株式会社
ファラデー回転子用ガーネット型単結晶及びそれを用いた光アイソレータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-175851 Applicant：株式会社フジクラ, 独立行政法人物質・材料研究機構

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Cited by examiner (6)

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ファラデー回転子用ガーネット型単結晶及びそれを用いた光アイソレータ
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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

多孔性ダイヤモンド状カーボン膜の将来展望

Cited by examiner (1)

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