Pat

J-GLOBAL ID：201703005106670072

スペクトルを用いた干渉計エンコーダ

Inventor： デック、レスリー エル. ,  リーゼナー、ヤン
Applicant, Patent owner： ザイゴ コーポレーション
Agent (3)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣 ,  本田 淳
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2017502176
Publication number (International publication number)：2017522559
Application date： Jul. 14, 2015
Publication date： Aug. 10, 2017
Summary：

エンコーダスケールの剛体運動の自由度に関する情報を決定するステップは、第1のビームをエンコーダスケールに方向付け、第1のビームをエンコーダスケールから回折させるステップと、 第1のビームの回折された成分を第2のビームと合成して干渉出力ビームを形成するステップと、 出力ビームの変化を第1および第2のビームの波長に応じて監視するステップと、波長に応じた出力ビームの変化に基づいてエンコーダスケールの剛体運動の自由度に関する情報を決定するステップとを含む。

Claim (excerpt)：

エンコーダスケールの剛体運動の自由度に関する情報を決定する方法であって、 異なる経路に沿って第1のビームおよび第2のビームを方向付けるステップであって、前記第1のビームは、前記エンコーダスケールから回折する、前記方向付けるステップと、 前記第1のビームの回折された成分を第2のビームと合成して干渉出力ビームを形成するステップと、 前記第1および第2のビームの波長に応じて出力ビームの干渉を監視するステップと、 前記波長に応じた前記出力ビームの変化に基づいて、前記エンコーダスケールの剛体運動の自由度に関する情報を決定するステップと、を備える方法。

IPC (4)：

G01D 5/38 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01D 5/347

FI (5)：

G01D5/38 B ,  G01B9/02 ,  G01B11/00 G ,  G01D5/347 110Q ,  G01D5/347 110D

F-Term (38)：

2F064AA01 ,  2F064BB03 ,  2F064EE01 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG49 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065LL01 ,  2F065LL12 ,  2F065LL42 ,  2F103BA05 ,  2F103BA06 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103EA03 ,  2F103EA05 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB05 ,  2F103EB12 ,  2F103EB14 ,  2F103EB16 ,  2F103EB19 ,  2F103EB32 ,  2F103EC03 ,  2F103EC08 ,  2F103EC10 ,  2F103EC11 ,  2F103EC14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• リトロー型干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-346376   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク

Cited by examiner (1)

• リトロー型干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-346376   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク