Pat
J-GLOBAL ID:201703005214846730

α窒化ケイ素の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 堅田 健史
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2015252209
Publication number (International publication number):2017114727
Application date: Dec. 24, 2015
Publication date: Jun. 29, 2017
Summary:
【課題】β窒化ケイ素の生成を抑制し、α窒化ケイ素を高い収率で生成することである。【解決手段】α窒化ケイ素の製造方法であって、金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法により達成される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
α窒化ケイ素の製造方法であって、 金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、 α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、 前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、 β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法。
IPC (1):
C01B 21/068
FI (1):
C01B21/068 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
Show all
Article cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page