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J-GLOBAL ID:201703005214846730
α窒化ケイ素の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
堅田 健史
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2015252209
Publication number (International publication number):2017114727
Application date: Dec. 24, 2015
Publication date: Jun. 29, 2017
Summary:
【課題】β窒化ケイ素の生成を抑制し、α窒化ケイ素を高い収率で生成することである。【解決手段】α窒化ケイ素の製造方法であって、金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法により達成される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
α窒化ケイ素の製造方法であって、
金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、
α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、
前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、
β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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特表平3-500640
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特開昭63-170202
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面状発熱体およびそれを具備する画像定着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2012-188464
Applicant:コニカミノルタ株式会社
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非水電解質二次電池
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-256381
Applicant:松下電器産業株式会社, 住友金属鉱山株式会社
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III-V族化合物半導体の気相成長方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-089338
Applicant:日立電線株式会社
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特開昭51-048800
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Article cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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