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J-GLOBAL ID:201703006955145514
細孔配列構造体の製造方法、細孔配列構造体の前駆体及び細孔配列構造体の製造装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松山 裕一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016041628
Publication number (International publication number):2017157761
Application date: Mar. 03, 2016
Publication date: Sep. 07, 2017
Summary:
【課題】高精細に細孔が配列された細孔配列構造体を、高スループットをもって製造することができる、製造方法を提供すること。【解決手段】金属薄膜の表面に所定パターンで多数の有底細孔を形成してなる細孔配列構造体の製造方法であって、金属薄膜連続体を引き出す引き出し工程と、引き出された金属薄膜連続体に所定のパターンで金属薄膜の表面を保護する保護剤層を形成する保護剤を所定のパターンで塗工する塗工工程と保護剤層の形成された金属薄膜連続体を巻き取る巻き取り工程とを具備し、上記塗工工程は、上記保護剤を供給する保護剤供給ローラーと該保護剤供給ローラーに接触し、該保護剤供給ローラーから保護剤の供給を受けて、供給された該保護剤を所定のパターンで上記金属薄膜連続体に転写する転写ローラーとを用いて行うことを特徴とする細孔配列構造体の製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
金属薄膜の表面に所定パターンで多数の有底細孔を形成してなる細孔配列構造体の製造方法であって、
金属薄膜連続体を引き出す引き出し工程と、
引き出された金属薄膜連続体に所定のパターンで金属薄膜の表面を保護する保護剤層を形成する保護剤を所定のパターンで塗工する塗工工程と
保護剤層の形成された金属薄膜連続体を巻き取る巻き取り工程とを具備し、
上記塗工工程は、上記保護剤を供給する保護剤供給ローラーと該保護剤供給ローラーに接触し、該保護剤供給ローラーから保護剤の供給を受けて、供給された該保護剤を所定のパターンで上記金属薄膜連続体に転写する転写ローラーとを用いて行う
ことを特徴とする細孔配列構造体の製造方法。
IPC (7):
H01G 9/055
, H01G 9/04
, B41F 9/01
, B41F 17/10
, B41M 1/28
, B41M 1/10
, H01G 9/00
FI (8):
H01G9/04 337
, H01G9/04 304
, B41F9/01
, B41F17/10 H
, B41M1/28
, B41M1/10
, H01G9/24 B
, H01G9/04 346
F-Term (6):
2C034AA21
, 2C034CA02
, 2H113AA01
, 2H113BA03
, 2H113BB10
, 2H113BB22
Patent cited by the Patent: