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J-GLOBAL ID：201703008170769286

プラズマ照射処理装置、その評価装置及び評価方法、その制御装置及び制御方法、並びに、膜の製造方法

Inventor： 池原 譲 ,  池原 早苗 ,  宮本 健司 ,  武井 光
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ,  株式会社ニコン
Agent (3)： 平木 祐輔 ,  渡辺 敏章 ,  広瀬 幹規
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016043933
Publication number (International publication number)：2017158659
Application date： Mar. 07, 2016
Publication date： Sep. 14, 2017
Summary：

【課題】プラズマと照射対象物への効果との関係を推定する。【解決手段】プラズマ照射処理装置は、プラズマを生成するプラズマ生成部と、前記プラズマを照射対象物に照射している間に前記照射対象物を介して流れる電流値を測定する測定部と、前記電流の電流値と前記プラズマの凝固能との相関関係を作成する評価部とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

プラズマを生成するプラズマ生成部と、 前記プラズマを照射対象物に照射している間に前記照射対象物を介して流れる電流値を測定する測定部と、 前記電流値と前記プラズマの凝固能との相関関係を作成する評価部と を備えるプラズマ照射処理装置。

IPC (2)：

A61B 18/04 ,  H05H 1/26

FI (2)：

A61B18/04 ,  H05H1/26

F-Term (17)：

2G084AA24 ,  2G084BB11 ,  2G084BB21 ,  2G084BB24 ,  2G084CC21 ,  2G084CC34 ,  2G084GG02 ,  2G084GG07 ,  2G084HH05 ,  2G084HH11 ,  2G084HH21 ,  2G084HH22 ,  2G084HH43 ,  2G084HH44 ,  2G084HH47 ,  2G084HH54 ,  4C160KK70

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• プラズマ外科処置用放電噴射ノズル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-116100   Applicant：株式会社メックス
• タンパク質膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-102455   Applicant：国立大学法人名古屋大学, 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 学校法人杏林学園
• プラズマ評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-234839   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 組織を溶接するプラズマヘッド
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2012-538466   Applicant：イオンメドリミテッド