プラズマ評価装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012234839
Publication number (International publication number)：2013131487
Application date： Oct. 24, 2012
Publication date： Jul. 04, 2013
Summary：

【課題】医療用等のプラズマ照射装置が生成する電流、及び生体等に流れる電流を簡便に計測し、客観的にプラズマを評価する装置、及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマ照射装置が生成するプラズマを被照射材で受けて、その被照射材が被照射側測定端子を介して抵抗器と差動アンプからなる微弱電流測定部に接続されており、さらにその微弱電流測定部の抵抗はプラズマ生成用電源の接地側に接続されており、抵抗器の抵抗間にかかる電圧を差動アンプを介して測定することで電流を計測し、及びプラズマ生成用電源の出力電圧を測ることでプラズマを評価するプラズマ評価装置及び方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

プラズマ照射装置が生成するプラズマを被照射材で受けて、その被照射材が被照射側測定端子を介して抵抗器と差動アンプからなる微弱電流測定部に接続されており、さらにその微弱電流測定部の抵抗はプラズマ生成用電源の接地側に接続されており、抵抗器の抵抗間にかかる電圧を差動アンプを介して電流を測定し、及びプラズマ生成用電源の出力電圧を測ることでプラズマを評価することを特徴とするプラズマ評価装置。

IPC (2)：

H05H 1/00 , H05H 1/24

FI (2)：

H05H1/00 A , H05H1/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

生体組織の処置用のプラズマアークを発生する高周波装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-567145 Applicant：リンデンマイヤーハインツ, ファステンマイヤーカール
プラズマリアクター用電源回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-118220 Applicant：トヨタ自動車株式会社
プラズマ処理方法及び装置
Gazette classification：再公表公報 Application number：JP2006307126 Applicant：松下電器産業株式会社

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