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J-GLOBAL ID：201703009826934587

フラーレンC60誘導体、並びに極紫外線光又は電子ビーム露光用レジスト組成物

Inventor： 松尾 豊 ,  林 寛幸 ,  川上 公徳 ,  橋口 昌彦 ,  高橋 功
Applicant, Patent owner： 三菱商事株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012250116
Publication number (International publication number)：2014097949
Patent number：6044283
Application date： Nov. 14, 2012
Publication date： May. 29, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 下記式(1)で示され、下記式(6)で表わされるフラーレン骨格の部分構造を2箇所有するフラーレンC60誘導体。 (式中、丸で囲まれたFLNで表される構造はC60フラーレン骨格を表し、R1は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、R2はヒドロキシフェニル基を表す。Rxは、下記式(a-3)〜(a-5)で表されるフラーレンC60誘導体におけるC60フラーレン骨格に付加した構造として示される基から選ばれる1種又は2種以上であり、nは2〜12の偶数である。2個のR1は互いに異なっていても同一であってもよい。10個のR2は互いに異なっていても同一であってもよい。n個のRxは互いに異なっていても同一であってもよい。) (上記式(6)中、C1〜C10は、フラーレン骨格を構成する炭素原子を表し、C1は前記R1と結合しており、C6〜C10は各々独立に前記R2と結合している) (式中、丸で囲まれたFLNで表される構造はC60フラーレン骨格を表し、R16は、水素原子、フェニル基、及び置換されていてもよい炭素数1〜4のアルキル基からなる群より選ばれる置換基を表す。nは2〜12の偶数である。)

IPC (4)：

C07C 39/23 ( 200 6.01) ,  C07C 59/54 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4)：

C07C 39/23 CSP ,  C07C 59/54 ,  G03F 7/004 531 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• フラーレン誘導体並びにその溶液及びその膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-026156   Applicant：三菱化学株式会社
• フラーレン誘導体並びにその溶液及びその膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-057320   Applicant：三菱化学株式会社

Cited by examiner (1)

• フラーレン誘導体並びにその溶液及びその膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-026156   Applicant：三菱化学株式会社