フラーレンC60誘導体、並びに極紫外線光又は電子ビーム露光用レジスト組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：重野剛
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012250116
Publication number (International publication number)：2014097949
Patent number：6044283
Application date： Nov. 14, 2012
Publication date： May. 29, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】下記式(1)で示され、下記式(6)で表わされるフラーレン骨格の部分構造を2箇所有するフラーレンC60誘導体。 (式中、丸で囲まれたFLNで表される構造はC60フラーレン骨格を表し、R1は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、R2はヒドロキシフェニル基を表す。Rxは、下記式(a-3)〜(a-5)で表されるフラーレンC60誘導体におけるC60フラーレン骨格に付加した構造として示される基から選ばれる1種又は2種以上であり、nは2〜12の偶数である。2個のR1は互いに異なっていても同一であってもよい。10個のR2は互いに異なっていても同一であってもよい。n個のRxは互いに異なっていても同一であってもよい。) (上記式(6)中、C1〜C10は、フラーレン骨格を構成する炭素原子を表し、C1は前記R1と結合しており、C6〜C10は各々独立に前記R2と結合している) (式中、丸で囲まれたFLNで表される構造はC60フラーレン骨格を表し、R16は、水素原子、フェニル基、及び置換されていてもよい炭素数1〜4のアルキル基からなる群より選ばれる置換基を表す。nは2〜12の偶数である。)

IPC (4)：

C07C 39/23 ( 200 6.01) , C07C 59/54 ( 200 6.01) , G03F 7/004 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4)：

C07C 39/23 CSP , C07C 59/54 , G03F 7/004 531 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

フラーレン誘導体並びにその溶液及びその膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-026156 Applicant：三菱化学株式会社

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