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J-GLOBAL ID：201703010565619580

参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置

Inventor： 吉田 肇 ,  新井 健太 ,  小畠 時彦
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (3)： 丹羽 匡孝 ,  西山 善章 ,  梅田 明彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014548520
Patent number：6091017
Application date： Nov. 12, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 測定室の上流側に接続するための参照リーク発生装置であって、 開閉可能な第1バルブを介して試験ガスを導入可能な容積V0の第1室と、開閉可能な第2バルブを介して前記第1室と接続された容積V1の第2室と、前記第1室に接続された圧力計と、前記第2室に接続された真空ポンプと、前記第2室に接続されたオリフィス又は多孔質体とを備え、前記第2バルブを開くことにより前記第1室の試験ガスの容積をV0からV0+V1に膨張させることができるように構成し、前記第2室が前記オリフィス又は多孔質体を介して前記測定室の上流側に接続可能となっていることを特徴とする参照リーク発生装置。

IPC (1)：

G01M 3/02 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01M 3/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 基準微小ガス流量導入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-012907   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 漏洩ガス測定装置および漏洩ガス測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-350938   Applicant：トヨタ自動車株式会社
• 特公昭44-021951
  

Cited by examiner (3)

• 基準微小ガス流量導入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-012907   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 漏洩ガス測定装置および漏洩ガス測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-350938   Applicant：トヨタ自動車株式会社
• 特公昭44-021951
  

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス

Cited by examiner (1)

• 二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス