モールド表面を複数の要素セル(Cij)に分割し、各要素セル(Cij)のそれぞれについて、元パターン(Pij)のパターン密度(Aij)を算出し、このパターン密度(Aij)の最大値(Amax)と最小値(Amin)を検出する第1の工程、
前記パターン密度(Aij)が0
IPC (2):
FI (2):
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
F-Term (14):
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ06
, 4F209AP20
, 4F209AR12
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F146AA32
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
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インプリントリソグラフィ用モールド製作方法及びモールド
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-242734
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
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インプリント・リソグラフィ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-114638
Applicant:エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ, コニンクリユケフィリップスエレクトロニクスエヌ.ブイ.
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インプリントリソグラフィ用モールド製作方法及びモールド
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2009-286145
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
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